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第524章 jin步(1/5)

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,华光光刻密设备公司国家重大技术装备验收组一行首看得很认真,只见前的工作台上放着一台全新的光刻机,宽大约一米左右,约15米,设备结构与之前的银汞灯紫外线光刻机有着明显的区别,设备看上去更加复杂了。

一旁的学委员,光刻机研究项目总负责人唐九华,正在作着介绍:“各位领导,这台新型66式光刻机采用了新型g线压银汞灯紫外线蓝光技术,波为436纳米,它改了过去的多制程曝光光刻工艺的缺,采用了全新的扫描式光刻工艺,最可实现1微米光刻。

四机王争仔细的观察着光刻机,问:“它的稳定制程能达到多少?≈ot;&039;据我们的实验测算,1微米制程合格率为3微米稳定制程合格率达到了65,5微米为38,78,10微米能达到917。“唐九华问

“也就是说10微米制程平与此前的功率银汞灯光刻机平差不多。

“是的,但是两者的生产效率不一样,这台新式光刻机效率可提35左右。≈ot;唐九华继续说:“更重要的是,它的线宽能到更小,且能够集成更多的晶。”

说完,他拿起一块芯片展示了起来:“这块芯片上集成了2400个晶,这不是它的极限,我们至少在它上面还能再加上七到八百个晶

验收组组郭副总理问:“集成晶的多少会有哪些区别?”唐九华回:“意味着芯片上的电路能实现更多的功能,而这也是我们接来要的工作。≈ot;说完便看向了方叶。

只见方叶微笑着,他向二位领导汇报:“有了这台光刻机,我们就可以制造全新的ic芯片了,准确的说,是中央,并且可以批量制造,这是上一代光刻机不备的。≈ot;以。

&039;中央?≈ot;王争和郭副总理几人皆不明所方叶解释:“这是一可编程的ic芯片,将会将解现有芯片只能使用单独功能的问题,比如采用了这?叫央的芯片,它可以据需要编辑电路控制功能,实现逻辑电路控制,≈ot;它的应用将会彻底的颠覆现有的电控制技术。

王争思索了一会,来,他基本明自了这个中央的原理。

不过郭副总理依旧没能听懂,王争见他似乎有些懵,于是便打了个比喻,笑:“郭副总理,这就好比家里的风扇,一档到三档,需要不同的档位,现在有了中央,一个键就可以同时实现多个档位切换,其电路控制由中央电路集成了起来。

明自了,郭副总理:“这么说来,以后的电路板上电零件会越来越少,电路板也会得更小。

王争:≈ot;您说的没错,基本是这个思路,以后的集成电路集成度会越来越,可实现丰富多样的功能。

到来之前,上级专家们的验收工作就已经了尾声,因此一场验收评审会议就在工厂里召开了起来,经过经专家们的一致评议,同意认定:&039;66式&039;光刻机有原创的国家重大半导制造设备领域的世界领先装备。

所有人都是激动的,包括方叶再,但他还是在会上提了一个要求:这款装备需要严格保密,所有信息五年禁止对外公开。

会上方叶说:“这款设备未来五年,将优先投国防军用半导技术应用领域,包括国家型先计算机、导弹芯片、航天芯片、战机航电系统、电台、通信技术等国防军用电芯片制造,所以包括设备及后续芯片再,务必严格保密,任何人在任何时候都不能对外透哪怕一个字!≈ot;王争自然知厉害,他脸上的笑容也收了起来,严肃的说:“所有参加验收和研究的人员都需要接受国家保密培训,签订国家保密协议,国

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