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【加更
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合
,华光光刻
密设备公司国家重大技术装备验收组一行首
看得很认真,只见
前的工作台上放着一台全新的光刻机,
宽大约一米左右,
约15米,设备结构与之前的银汞灯紫外线光刻机有着明显的区别,设备看上去更加复杂了。
一旁的学
委员,光刻机研究项目总负责人唐九华,正在作着介绍:“各位领导,这台新型66式光刻机采用了新型g线
压银汞灯紫外线蓝光技术,波
为436纳米,它改
了过去的多制程曝光光刻工艺的缺
,采用了全新的扫描式光刻工艺,最
可实现1微米光刻。
四机
王争
仔细的观察着光刻机,问
:“它的稳定制程能达到多少?≈ot;&039;
据我们的实验测算,1微米制程合格率为3微米稳定制程合格率达到了65,5微米为38,78,10微米能达到917。“唐九华问
。
“也就是说10微米制程
平与此前的
功率银汞灯光刻机
平差不多。
“是的,但是两者的生产效率不一样,这台新式光刻机效率可提
35左右。≈ot;唐九华继续说
:“更重要的是,它的线宽能
到更小,且能够集成更多的晶
。”
说完,他拿起一块芯片展示了起来:“这块芯片上集成了2400个晶
,这不是它的极限,我们至少在它上面还能再加上七到八百个晶
。
验收组组
郭副总理问
:“集成晶
的多少会有哪些区别?”唐九华回
:“意味着芯片上的电路能实现更多的功能,而这也是我们接
来要
的工作。≈ot;说完便看向了方叶。
只见方叶微笑着
了
,他向二位领导汇报
:“有了这台光刻机,我们就可以制造全新的ic芯片了,准确的说,是中央
理
,并且可以批量制造,这是上一代光刻机不
备的。≈ot;以。
&039;中央
理
?≈ot;王争和郭副总理几人皆不明所方叶解释
:“这是一
可编程的ic芯片,将会将解现有芯片只能使用单独功能的问题,比如采用了这
?叫央
理
的芯片,它可以
据需要编辑电路控制功能,实现逻辑电路控制,≈ot;它的应用将会彻底的颠覆现有的电
控制技术。
王争
思索了一会,
起
来,他基本明自了这个中央
理
的原理。
不过郭副总理依旧没能听懂,王争
见他似乎有些懵,于是便打了个比喻,笑
:“郭副总理,这就好比家里的风扇,一档到三档,需要不同的档位,现在有了中央
理
,一个
键就可以同时实现多个档位切换,其电路控制由中央
理

电路集成了起来。
明自了,郭副总理

:“这么说来,以后的电路板上电
零件会越来越少,电路板也会
得更小。
王争
笑
:≈ot;您说的没错,基本是这个思路,以后的集成电路集成度会越来越
,可实现丰富多样的功能。
王
到来之前,上级专家们的验收工作就已经
了尾声,因此一场验收评审会议就在工厂里召开了起来,经过经专家们的一致评议,同意认定:&039;66式&039;光刻机
有原创
的国家重大半导
制造设备领域的世界领先装备。
所有人都是激动的,包括方叶再
,但他还是在会上提了一个要求:这款装备需要严格保密,所有信息五年
禁止对外公开。
会上方叶说
:“这款设备未来五年
,将优先投
国防军用半导
技术应用领域,包括国家
型先
计算机、导弹芯片、航天芯片、战机航电系统、电台、通信技术等国防军用电
芯片制造,所以包括设备及后续芯片再
,务必严格保密,任何人在任何时候都不能对外透
哪怕一个字!≈ot;王争
自然知
厉害,他脸上的笑容也收了起来,严肃的说
:“所有参加验收和研究的人员都需要接受国家保密培训,签订国家保密协议,国
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