集成电路

休息室里，汤定元见夏培肃骑着自行车来赶了过来，便站了起来，门的夏培肃一个刹车，将自行车停好，接着抬步走了房间里。

“汤同志，原来是你啊。”夏培肃笑着伸了手。

汤定元与之一握，也笑着说:“没想到在这里见到夏同志，来给你介绍一，这位是二机半导研究室的谢希德同“你好”、”你好。”两人都是女同志，倒是显得亲切了许多。

简单介绍，而后一番登记，领了来防人员牌，这才跟着夏培肃往研究中心走去，三人，一人推着自行车，汤、谢二人在一旁步行，就见汤定元有些好奇的问:“夏同志，你不是调到了上海的研究所工作吗?怎么了一家公司?”夏培肃笑:≈ot;以前是在上海工作，后来了华为公司，今年初我们整个研究院陆续都搬了过来，这才不过一个月呢。

她大概介绍了自己的工作况，而后便问:“两位这次到华为来是?”谢希德显得有些急切的说:“我们看到了人民日报上的报，一番了解才知是华为搞了硅单晶，便向里行了申请，获批前来参观学习的。”

夏培肃微微一笑，她知这些人是来错地方了，硅单晶是集团总研究院搞来的，不过此时她也不好直接说，便将人带到了研究中心的会客室。

这时总经理何光远听到消息也赶了过来，一番，何光远得知了他们的来意，不过这事他并没有直接答应，而是将两人暂时安顿了一，便向总打去了电话。

方叶听到二机半导研究室派了两位同志来参观学习，也便没有阻止，接到批准后的何光过多，这才来到了会客室，而后对二人说“两位同志，经过批准，二位可以参观硅晶圆实验室，不过它不在这里，两位今天先休息一日，明天我们会派车送两位过去。”

≈ot;啊，不是在华为吗?”汤定元发现自己找错了地方。

何光远笑了笑答:“不是在这里，不过两位旅途劳累，暂时先在合休息一，明天就可以过去了。”

“那好。”汤定元也便答应了来天，接着两人便在何光远的带领，简单对华为行了参观，当然研究中心里的各个研究单位，他们并没能得去。

此时，研究中心的半导研究中心里，华为半导研究所联合微电、集成电路技术研究所、光刻技术研究所、集成电路材料研究所，四大单位正在锣密鼓的开展实验，由于这是中国第一次集成电路研究，大家都在摸索，因此四大所的负责人都赶了过来，既是解决问题，也是来相互学习的。

只见光刻技术研究所的唐九华，将一枚完成了打磨的硅单被放置到了光刻机上，他一-边放置上基材，一边向众人介绍起;了光刻机的基本运作原理。

唐九华说:“这是一台接式光刻机，主要采用曝光原理，由紫外线灯作为曝光光源，采用掩版行图像生成，当光源通过掩版照到硅片基材上以后，会对硅片上的曝光区行烧蚀，形成电路线路所需的图像。

唐九华说完便盖上了遮光板，然后了光刻机的启动键，只听到机里发一阵步电路轻悦耳的蜂鸣声，林兰英、王守觉几人纷纷观察了起来，不过由于遮光版盖得很严实，他们什么也看不到。

而在机，第一遍曝光扫描之后，电机复位，但并没有没停止，而是又现了第二次蜂鸣声，如此一直行了三次，之后机才停了来，就见林兰英说:≈ot;要连续扫描三次吗?”唐九华了，回:“主要是我们现在的紫外线灯照工艺还需要提升，之前采用小的功率，发现不行，后来又采用了更大的功率，由于功率过，将材料都烧焦了，又不成，经过多改，才选取了现在的45瓦功率，然后采用多曝光解决问题。

光刻完成，唐九华上了手，用一个橡胶柄将硅片取了来，轻轻的放到了一旁的托盘上，然后端着托盘来到了显微镜，开始了检查，显微镜中，曝光的线路全是烧着的痕迹，但是材料并没有被去除，这也是接式光刻机的缺，它并不能像激光那样，直接去除材料。

一番检查，烧着的线路线宽很宽，差不多03至04毫米，之所以线宽如此宽，还是因为没有图形发生的原因，因此掩版上的线路，是王守觉带着研究员，采用刻刀在放大镜手工刻来的。

雕刻完成的菲林再放到显微镜，用特制的探针刀，一一的修饰，将线路里未去除的材料全清理净，并且将边休整整齐，这是为了防治刻蚀后电路有未曝光的区别形成黑，这此黑在接来的电镀工艺过程中，就可能会造成线路上的空，而边则会造成电路接不良。

完成这些工序之后，由于菲林的尺寸很大，不能直接形成掩版，因

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